ASML的光學(xué)投影光刻機(jī)的熱度經(jīng)久不衰,伴隨著High NA EUV光刻機(jī)和國產(chǎn)光刻機(jī)概念引發(fā)的關(guān)注,各種行業(yè)研報(bào)層出不窮。相比之下,電子束光刻的賽道就顯得冷清了。
微信公眾號(hào):半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)縱橫 2025/05/13 14:23 光罩 電子束光刻
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