近日，東方晶源完成新一輪數(shù)億元融資。本輪融資由賽領(lǐng)資本、深創(chuàng)投領(lǐng)投，眾多知名投資機構(gòu)聯(lián)合投資。
此輪融資將有助于東方晶源加快在集成電路前道電子束檢測、計算光刻系統(tǒng)等核心產(chǎn)品的研發(fā)進程，加速在集成電路良率管理領(lǐng)域的整體布局。
東方晶源是一家專注于集成電路良率管理的企業(yè)。現(xiàn)主要產(chǎn)品為納米級電子束缺陷檢測裝備(EBI)和關(guān)鍵尺寸量測裝備(CD-SEM)、計算光刻產(chǎn)品(OPC)以及微電子設(shè)計與制造智能良率優(yōu)化平臺(HPOTM)。
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