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半導(dǎo)體|三星電子在生產(chǎn)線上試用韓國企業(yè)加工的氟化氫

2019/09/05 09:55      TechWeb.com.cn 宋星


  9月5日消息,據(jù)國外媒體報道,三星電子開始在半導(dǎo)體生產(chǎn)線上試用韓國企業(yè)加工的氟化氫。

  知情人士稱,自8月下旬起,三星電子開始在一條生產(chǎn)線上使用韓國企業(yè)供應(yīng)的氟化氫。氟化氫被用于晶圓的清洗等方面。

  此次投入量產(chǎn)線的是從中國進口、由韓國企業(yè)加工的氟化氫。

  在高純度的氟化氫市場,日本廠商大約占據(jù)8至9成份額。三星電子對于是否全面采用日本造以外的氟化氫仍持謹慎態(tài)度。

  今年7月,就有外媒報道三星電子在半導(dǎo)體工廠試驗新材料的生產(chǎn)線上,開始投入日本以外廠商的氟化氫進行試驗,這些產(chǎn)品被認為來自中國大陸、中國臺灣和韓國廠商。

  上月,外媒還報道,三星電子正在從總部位于比利時的公司采購用于制造半導(dǎo)體芯片的化學(xué)材料,以替代日本廠商。外媒未披露公司名稱,但有分析認為,該公司應(yīng)該是日本化學(xué)企業(yè)JSR和比利時研究機構(gòu)IMEC2016年設(shè)立的合資公司EUV Resist。

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