荷蘭ASML公司是全球EUV光刻機(jī)的唯一供應(yīng)商，Intel、三星、臺(tái)積電等公司都要依賴它。中國(guó)的中芯國(guó)際去年也訂購(gòu)了一臺(tái)EUV光刻機(jī)用于研究7nm及以下的先進(jìn)工藝，不過(guò)消息稱ASML已經(jīng)暫停對(duì)中國(guó)供應(yīng)EUV光刻機(jī)，背后又是美國(guó)從中作梗。

　　據(jù)外媒報(bào)道，ASML去年4月份收到了中國(guó)最大的晶圓代工廠中芯國(guó)際的訂單，訂購(gòu)了一臺(tái)EUV光刻機(jī)，價(jià)值超過(guò)1.2億歐元，差不多是10億人民幣了，預(yù)計(jì)今年底交貨，2020年正式安裝。

　　國(guó)內(nèi)晶圓廠目前量產(chǎn)的最先進(jìn)工藝還是28nm，中芯國(guó)際的14nm工藝取得了突破，但是目前還沒(méi)大規(guī)模量產(chǎn)，還在客戶導(dǎo)入階段。

　　EUV光刻機(jī)主要用于7nm及以下的先進(jìn)工藝，中芯國(guó)際訂購(gòu)EUV光刻機(jī)主要是研究開發(fā)，而且只有一臺(tái)，并不會(huì)用于大規(guī)模生產(chǎn)。

　　即便如此，報(bào)道稱ASML公司迫于美國(guó)的壓力也暫停交付中芯國(guó)際這臺(tái)EUV光刻機(jī)，因?yàn)樗麄儾幌胱屆绹?guó)感到不安，畢竟ASML有多達(dá)1/5的零件來(lái)自于美國(guó)工廠，其中光刻機(jī)核心的光源系統(tǒng)就是美國(guó)公司供應(yīng)的。

　　不過(guò)另一方面，ASML也不希望這件事讓中國(guó)公司及客戶感到不安，因?yàn)橹袊?guó)市場(chǎng)是全球半導(dǎo)體設(shè)備增長(zhǎng)最快的市場(chǎng)，ASML公司去年有19%的銷售額都是來(lái)自于中國(guó)公司，是ASML重要客戶。